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新華社北京6月29日電（記者溫競(jìng)?cè)A）記者29日從中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司獲悉，該集團(tuán)旗下中電科電子裝備集團(tuán)有限公司（簡(jiǎn)稱電科裝備）已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國(guó)集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。
研發(fā)人員正在調(diào)試離子注入機(jī)。（中國(guó)電科供圖）
離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。
當(dāng)前，28納米是芯片應(yīng)用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。據(jù)介紹，電科裝備連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，形成中束流、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品格局，實(shí)現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋，切實(shí)保障國(guó)產(chǎn)芯片生產(chǎn)制造。
據(jù)了解，作為國(guó)內(nèi)最早從事離子注入設(shè)備研制及產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，電科裝備已具備從產(chǎn)品設(shè)計(jì)到量產(chǎn)應(yīng)用的完整研制體系，產(chǎn)品涵蓋邏輯器件、存儲(chǔ)器件、功率器件、傳感器等工藝器件，百臺(tái)設(shè)備廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)各大集成電路先進(jìn)產(chǎn)線，累計(jì)流片2000萬片，有力提升我國(guó)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性和安全水平。
