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新華社北京6月29日電（記者溫競華）記者29日從中國電子科技集團有限公司獲悉，該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司（簡稱電科裝備）已實現國產離子注入機28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國集成電路制造行業在成熟制程領域的產業安全。
研發人員正在調試離子注入機。（中國電科供圖）
離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中，離子注入機就是執行這一摻雜工藝的芯片制造設備。
當前，28納米是芯片應用領域中覆蓋面最廣的成熟制程。據介紹，電科裝備連續突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術，形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機產品格局，實現了28納米工藝制程全覆蓋，切實保障國產芯片生產制造。
據了解，作為國內最早從事離子注入設備研制及產業化的企業，電科裝備已具備從產品設計到量產應用的完整研制體系，產品涵蓋邏輯器件、存儲器件、功率器件、傳感器等工藝器件，百臺設備廣泛應用于國內各大集成電路先進產線，累計流片2000萬片，有力提升我國產業鏈供應鏈韌性和安全水平。
